Ashcroft HPX40/50/63 超高純壓力表
基本信息:經(jīng)超聲波清洗,為超高純度氣體輸送系統(tǒng)設(shè)計(jì) ,不銹鋼結(jié)構(gòu)和接液元件適用于半導(dǎo)體、電子制造工業(yè)氣體應(yīng)用。
主要特征
連接與工藝:VCR? 型螺紋密封連接,無氧密封焊接 ,電解拋光處理,潔凈室內(nèi)真空包裝 。
檢測與潔凈:氦氣檢漏,油污殘留物低于 50mg/m2 。
規(guī)格參數(shù):精度方面,40mm 表盤為 3 - 2 - 3%× 滿量程,B 級(jí),符合 ASME B40.1;50mm/63mm 表盤為 2 - 1 - 2%× 滿量程,A 級(jí),符合 ASME B40.1 。量程 -0.1~0 MPa 至 -0.1~0.9 MPa、0~0.1 MPa 至 0~40 MPa(0~15 psi 至 0~6000 psi 或等效壓力單位 )。過程連接尺寸為 9/16 - 18UNF 可旋轉(zhuǎn)內(nèi)螺紋或外螺紋 ,連接位置徑向、軸向 ,防護(hù)等級(jí) IP 54 EN 60 529/IEC 529 ,尺寸有 40mm、50mm、60mm 。
行業(yè)應(yīng)用:用于高純度氣體輸送系統(tǒng)、氣體控制組件、流程氣體分析儀、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。